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顯微鏡
您當前的位置 : 產品展示 精密光學檢測顯微系列 晶圓/硅片檢測顯微系統

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上海光學儀器廠

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郵箱:55228110@163.com

網址:m.taiheng-sh.com.cn

地址:上海市楊浦區松花江路253號

  • 產品概述
  • 性能特點
  • 技術參數

一、產品用途

  7XB-PC大平臺檢測顯微鏡是專為IT行業大面積集成電路,對硅片、電路基板、裂縫探究、精密模具的監測分析,晶片的質量檢測而設計開發制造的,主體為正置式,三目鏡筒,比傳統的顯微鏡更適合于觀察。適用于電子、機械、化工、科研、院校等部門,以及金相技術檢驗、失效分析等。

二、產品特點

?  WF10X/Φ22mm大視野目鏡,無限遠系統平場金相物鏡

?  超大型載物臺,樣品可以大范圍的快慢速移動,擴大檢測領域的使用范圍

?  可供IT行業大面積集成電路、晶片的觀察和檢測,鏡體機構舒適穩重、操作方式輕松快捷。

?  粗微調低位前置操作,適合長時間輕松工作不疲勞。

三、技術規格

1.        光學系統:無限遠光學系統

2.        觀察頭:鉸鏈式三目頭,30°傾斜,瞳距調節53-75mm

3.        超大視野目鏡:WF10X/22

4.        無限遠平場消色差物鏡

 

 

放大倍數

數值孔徑

工作距離(mm)

備注

5×

0.12

26.10

標配

10×

0.25

20.20

20×

0.40

8.80

50×

0.70

3.68

80×

0.80

1.25

100×.

0.80

2.0

選購

5.        物鏡轉換器:孔(內向式滾珠內定位)

6.        調焦機構:粗微動同軸調焦,帶鎖緊和限位裝置,微動格值:0.7μm

7.        載物臺:載物臺面積 280×270mm,移動范圍 205×205mm

8.        照明:6V30W 鹵素燈,亮度連續可調 

9.        濾色鏡:藍色、黃色、綠色、磨砂玻璃片

10.    適配鏡:直徑:59mm,放大倍率:0.5  ,內調焦距:03mm  調焦后可鎖緊

11.    顯微鏡工業相機:圖像傳感器采用1/2.5" 彩色500CMOS芯片;像素:2.4x2.4(μm);FPS/分辨率:5.5@3072 x1728,35@1280x720;G光靈敏度:0.15mv-425mv;曝光時間:0.105ms~15s;光譜響應范圍:380-650nm(有紅外截止濾光片情況下);掃描方式:逐行掃描;快門:電子快門;數據接口:USB3.0;白平衡:ROI 白平衡/手動調整。

12.    軟件功能:圖像顯示、圖像拍攝、錄像和圖象處理功能,可以對所攝圖像進行文字編輯,比例尺顯示;超景深擴展;長度,角度,弧長測量;點,線,平行線,垂直測量;園、橢圓測量;矩形,不規則形狀的周長、面積、重心位置等幾何參數測量。

四、配置清單

1. 檢查顯微鏡/1臺

2. 大視野目鏡10×/1

3. 物鏡5×、10×、20×、50×、80×/各1只  

5. 適配鏡0.5×/1

6. 顯微鏡工業相機YH-5001/1

7. 校準尺0.01mm/1

8. 產品合格證、保修卡及說明書/1份

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